ASML 首席技术官 Martin van den Brink 日前受访时表示,目前公司正有序推行其路线图,在 EUV 之后是 High-NA EUV 技术。ASML 正在准备向客户交付首台 High-NA EUV 光刻机,大概会在明年某个时间点完成。(Bits & Chips)
ASML 首席技术官 Martin van den Brink 日前受访时表示,目前公司正有序推行其路线图,在 EUV 之后是 High-NA EUV 技术。ASML 正在准备向客户交付首台 High-NA EUV 光刻机,大概会在明年某个时间点完成。(Bits & Chips)